SJ6000國產激光干涉儀品牌是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
SJ6000激光光學干涉儀是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。
中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000中圖激光干涉儀使用當前熱門的軟件界面開發工具,軟件界面人性化,操作簡單。將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)。配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度。
便攜自動精密轉臺,主要特點:小巧便攜、功能強大、無線操作;回轉軸測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。
激光干涉儀SJ6800,高精度測量、應用廣泛、軟件功能強大,以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準
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