以激光干涉技術為核心,SJ6000工業激光干涉測量儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、長期穩定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機分離設計,避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩定可靠。可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
SJ6000激光干涉儀測量系統可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,也具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。
SJ6000機床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是一款高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。
SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差(螺距補償)、反向間隙修正提供依據。操作人員通過每個機床軸的補償值來消除機床定位系統中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償,可以將誤差降低到幾乎為零的程度,大大提高機床作業精度。
SJ6000光學干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償的重要性,而機床在裝配、加工、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀,來進行多種幾何量精度參數的測量以及動態性能的測試、分析。從宏觀角度來講,激光干涉儀對機床工具產業乃至整個制造工業的升級,都是功不可沒的。
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