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中圖儀器3d視覺輪廓儀測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
中圖儀器3d光學輪廓儀高精度測量儀在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
SuperVirewW1光學3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數,廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
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