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SuperViewW1粗糙度輪廓光學測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器輪廓掃描測量儀X軸、Z軸采用獨立運動系統,使用先進的兩軸聯動運動控制算法,可實現X、Z雙軸聯動掃描,測量時測針在工件表面做仿形運動掃描(主動掃描),既保持了恒測力,又保證了大的陡坡通過能力,工件調平操作簡單,同時避免了崩針、掛針等問題。該產品還支持量程定制,適用于各行業領域的實驗室或工作現場使用。
SuperViewW1三維光學輪廓形貌儀是一款既可以用于科學研究,也可以用于工業產品的光學檢測儀器??蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中,測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。
SuperViewW1光學輪廓測量儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發感應器,鏡頭與樣品表面變為軟接觸,并觸發緊急停止開關,不再響應向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷。其雙通道氣浮隔振系統,既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。
中圖儀器輪廓儀檢測儀器可廣泛應用于精密機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金、光學加工等行業。該儀器可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現一次掃描測量,尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測,如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數、微觀輪廓度參數的測量。
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