中圖儀器SuperViewW1白光干涉測厚儀針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區域,不見一絲重疊縫隙。
SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉儀品牌是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1Chotest中圖白光干涉儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1中圖國產白光干涉儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得高測量重復性。
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