中圖儀器VT6000共焦顯微鏡是一款以共聚焦技術為原理、用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器??蓪ζ骷砻孢M行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,從而獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。
VT6000系列共聚焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎,結合高穩定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統,儀器測量精度高,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。能對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
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