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SuperViewW非接觸式表面光學輪廓儀以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
SuperViewW光學三維表面粗糙度輪廓儀測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
SuperViewW非接觸式光學3D表面形貌測量系統以白光干涉技術為原理,能以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW國產白光干涉光學輪廓儀系統基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。
SuperViewW非接觸式光學3D表面粗糙度輪廓儀特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時,可一鍵實現自動條紋搜索、掃描等功能。
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