SuperVirewW1光學3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數,廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。有非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效的優點。
光學3D表面輪廓測量儀,是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。 非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
中圖儀器3d光學輪廓儀國內品牌的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合下,分辨率可達0.1nm。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。
中圖儀器SuperViewW1光學輪廓測量儀品牌由光學照明系統、光學成像系統、垂直掃描控制系統、信號處理系統、應用軟件構成。以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,主要用于表面形貌紋理,微觀結構分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等領域。
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