一鍵批量分析白光干涉測頭

SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統和Z向掃描系統組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構的平臺上，在產線上對器件表面進行自動化形式的測量，直接獲取與表面質量相關的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數。

產品功能

1、測量功能：能夠實現樣件表面的高精密Z向掃描，獲取3D圖像；

2、分析功能：能夠獲取關于表面質量的粗糙度、微納級別的輪廓尺寸等2D、3D數據；

3、編程功能：支持預配置數據處理和分析工具步驟，一鍵完成測量到分析全過程；

4、批量分析：可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數數據實現一鍵批量分析；

一鍵批量分析白光干涉測頭

應用領域:

　　對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差