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SuperViewW白光干涉微觀三維形貌測量儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

有圖晶圓共聚焦高精度測量顯微鏡橫向分辨率高，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

NS系列微觀二維形貌輪廓臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度。

NS系列探針式輪廓薄膜表面臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

VT6000材料共聚焦3D測量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。所展示的圖像形態細節更清晰更微細，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

NS系列探針接觸式臺階高度儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。