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SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
SJ5800中圖高精度粗糙度輪廓儀能實現對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。能滿足軸承行業絕大部分測量需求,除了圓柱滾子軸承的錐面直線度、粗糙度以及圓柱滾子的凸度分析,也支持其他軸承測量與結果分析。
SuperViewW1中圖光學3D表面輪廓儀器基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
SuperViewW系列3D輪廓儀三維形貌儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
SJ5700S大量程粗糙度輪廓儀采用高精度光柵測量系統、高精度研磨導軌、高性能非接觸直線電機、音圈電機測力系統、高性能計算機控制系統技術,實現對各種工件表面輪廓進行測量和分析。
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